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MPW、MLMについてのご紹介

半導体ウェハーの写真


本記事は試作、少量生産用のマスク製造方法をご紹介します。

大量生産に向いたフルマスク製造以外にも、1ウェハを複数社で相乗りし、ベアチップを製造するMPW(Multi Project Wafer=shuttle)や、マスク製造時に統合できるマスクをできる限り相乗りしマスク枚数を削減することでコストダウンするMLM(multi layer mask)と言った試作製造方法があります。

フルマスクだけでなくMPWやMLMを利用することで、内藤電誠工業は数十個と言った試作から数百~数千個といった少量生産まで対応します。

MPWイメージ

MPW(シャトル便)を使用した場合のイメージ。区画を買うファンダリと面積を購入するファンダリがあります。

MLMイメージ

マスク製造費用を圧縮するためにはMLMと言うマスクの製造方法が有効です。

納品時はパッケージ、ウェハ、チップの中から最適な納品方法をお客様とご相談しながら決めていきます。